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普发分子泵?hipace?80的工作原理

轴承

通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都安排在前真空侧，因为轴承中有润滑剂。这导致转子凭借其较大产生的单边（悬臂）支撑。

混合轴承支撑就转子动力学而言在这方面有优势。混合轴承指ding在一个单一泵中使用两个轴承的概念。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，普发涡轮分子泵维修，且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位置。润滑前真空侧轴承的油包含在工作液储罐中。小型安全轴承布置在磁轴承转子内。在正常工作期间，轴颈在该轴承内自由旋转。提供更长的分子泵维修间隔，可以现场更换分子泵轴承涡轮分子泵适用领域：半导体生产2。如果存在---的径向冲击，安全轴承则稳定转子并只短时间转动。如果转子失去平衡，轴两端的轴承将比浮动轴承的情况下产生---较低的轴承应力振动力。高真空侧的磁轴承对振动完全不敏感。因此，只有非常小的振动力被传输到壳体上。并且，这无须悬臂概念中较大的两个轴承，其较小的尺寸---了转速。

pfeiffer ?hipace?80配套的电源 tc110如下图

电源是?24、48?或?72?伏的直流电，通过外部电源包或集成在泵的电子单元中的?电源包产生电流

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