pfeiffer真空分子泵调衡厂家供应-潽拓光电

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分子泵应用

1. 分析仪器

2. 半导体 

3. 镀膜 

4. 工业 

5. 研发

广州潽拓维修pfeiffer 普发涡轮分子泵 hipace 2300

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板，玻璃镀膜，科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leyss，pfeiffer真空分子泵调衡，pfeiffer，alcatel，agilent(varian)，boc edwards，osaka，ulvac，shimadzu等---品牌分子泵，真空泵，真空计维修保养/销售等业务。广州潽拓光电——pfeifferduo3真空泵保养pfeifferduo3油泵特性：集成型气镇阀和hv安全阀适于所有粗真空和中度真空范围的应用带磁性接合器的腐蚀性气体机型特点：通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用。

广州潽拓——维修pfeiffer duo 3

双级旋片泵 duo 2.5/duo 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 ---压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递---温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对---的---压力。

此外，气镇对---压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作---就打开。