




广州潽拓光电——
shimadzu电源一体型分子泵特点:
? 强化了抽气性能
? 无需外接电源
? 外形紧
? 节省能源
?
无需安装电缆线或安装控制架
分子泵(turbo molecular
pump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。shimadzu岛津分子泵有着高水准的排气能力,并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求。
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广州潽拓光电——bpg400 /bpg402 英福康inficon
inficon皮拉尼复合真空计
产品型号:bpg400
i
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
一般真空测量和控制,从低至真空范围
优点
极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至---压(3.8x10-10 乇至---压)
---的重复性,压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的---
容易更换具有在机校准的传感元件,---高度重复性
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