汕尾英福康bpg400真空计定期保养-广州潽拓光电

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inficon技术：（1）从微机电系统（inficon）发展到纳机电系统（nems）的启示；（2）inficon加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器技术及应用；（3）光学传感器和气体传感器技术及应用；（4）inficon谐振器和振荡器技术及应用；（5）inficon制造工艺；（6）inficon封装技术；（7）inficon产线参观学习：苏州inficon中试平台和捷研芯量产封装产线。 

上世纪50年代，d.j.pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管（电子管）做电路，其一侧与晶振构成pierce-miller振荡器，晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时，阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105pa到13.3pa的压强。

到了20世纪80年代，m.ono等人设计了测量范围从1.33pa到大于105pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构，长2.66mm，宽0.3mm，厚0.13mm，英福康bpg400真空计定期保养，谐振频率为32768hz。仪器采用位相锁定环路，（phaselookedloop）使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限，经过对石英晶振结构的研究，选用10mm长的晶振做成0.133pa~105pa测量范围的真空计。

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inficon传感器及电容-数字信号转换电路原理图测量时，首先由开关电容放大器将电容转换为电压，然后由一个自振荡噪声积分双斜率转换器将电压信号转换为数字信号。在前级模拟电路中，coffset和cgain为可编程电容，可以调剂电桥的输出信号同时补偿电桥的偏移，该特征可以使电路处理相同inficon设备的不同信号或有相同激励信号的不同的inficon器件。

自振荡噪声积分双斜率转换器使用时间而不是幅度分辨率来产生多位数字输出信号，结构简单，能有效消除偏移及闪烁噪声，实现---的测量。如图8所示，电路采用0.13umcmos技术制作成集成芯片，有效面积约为0.317平方毫米，功率消耗约为0.2mw。测量结果表明，电路可以在-40～80℃温度范围内正常工作，电容分辨率可达到7af，压力分辨率可达到1pa。

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图8inficon传感器与电容-数字信号转换器芯片封装图3.静电力平衡结构微电容测量和普通inficon电容式传感器相比，静电力平衡电容式传感器采用闭环工作方式，利用力平衡反馈回路产生静电力来平衡传感器中的感压薄膜或块。静电力平衡技术在inficon加速度计、陀螺仪等传感器中应用广泛，在inficon电容压力传感器中处于发展阶段。

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